王阳元:“跑步”圆梦

科技日报11月11日文章(文/记者 张显峰)   9月25日,我国大陆第一条12英寸芯片生产线在中芯国际集成电路制造公司建成投产。由此,我国集成电路制造技术跻身国际高端行列,他功不可没。   30年来,从第一块1024位MOS动态随机存储器的诞生,到我国第一个与集成电路设计兼容的微机电系统设计平台的问世,他从未懈怠。   他做着长长的梦,一个微电子科学世界里瑰丽的梦。   他放任自己的脚步,像在进行一场马拉松比赛,追逐令人兴奋的梦圆时刻。   在中国微电子学界没有人不知道他。他领衔研制成功我国第一块1024位MOS动态随机存储器,第一个按软件工程方法开发的集成化超大规模集成电路计算机辅助设计系统……   他是谁?中国科学院院士、北京大学微电子研究院院长王阳元也。   今年9月25日,我国大陆第一条12英寸芯片生产线在他参与创建的中芯国际集成电路制造公司建成投产,使我国集成电路制造技术跻身国际高端行列。   秋日早晨,阳光如瀑。见他,一身西装,头发三七分,鬓角微微白丝。   做科学家的素质是父母“遗传”   王阳元院士笑称自己的“科学家基因”得自家庭遗传。   他出生在浙江宁波柴桥镇一个普通家庭,由于生日在阳历元旦,祖父为他起名阳元。   祖父是当地中药行的土专家,在一家中药铺当质检员。顾主发迹之后,为示感谢,想把这个小药铺送给他,却被他一口谢绝。祖父的传家格言是“传家有道唯存厚,处世无奇但执真”。   父亲则在上海一家文具厂当会计,办事十分严谨,在工厂任职6年中,账目从没差过一分钱。查账人开玩笑,说他的账差了3分钱,他竟然严肃而自信地说:“一定是你查错了。”   王阳元很佩服父亲,“他具备一个科学家的素质”。母亲则是一位干练的家庭妇女,勤俭节约。   如此家庭环境让王阳元变得执着而稳重。从小学到高中,学习成绩没有出过前三名。   少小出狂言:我是未来的科学家   王阳元中学时的一篇作文曾在班里引起不小的轰动。   一次上语文课,老师让学生写一篇作文。王阳元的作文题目是《未来的科学家———宇耕在成长》,写宇耕立志要成为一位原子物理学家云云。“宇耕”,是他当时给自己起的笔名,意即宇宙的耕耘者。   一个不起眼的中学生,居然口出“狂言”,要做宇宙的耕耘者,要做大科学家?不在同学中间掀起一阵波澜才是怪事呢。   老师在讲台上念,同学们在台下“嘿嘿”地笑。有人说他“狂”,也有人说他“傻”。   但对于王阳元来说,他的理想是真真切切的,他清楚地知道他将愿意为此付出一生。那个时期不少优秀文学作品———《钢铁是怎样炼成的》、普希金诗篇等,以及爱因斯坦、居里夫人、詹天佑、钱学森等著名科学家的故事深深地感染了他,使他立志成为一名“对祖国和人民有贡献的科学家”。   语文老师给他的评价并不是嘲笑和默然,而是鼓励,在全班同学面前的鼓励。这让王阳元满怀感激。经年之后,他依然对这所学校充满着感情。   “对我一生影响最深的学校,除了北京大学之外,就数我的中学———浙江宁波中学了。”王阳元在位于甬江之滨的宁波中学读了6年书,从初一到高中毕业。中学6年有规律的生活,使他养成了读书做学问的好习惯。   那时,课余时间他最爱去的地方就是图书馆和运动场。   科学研究就像长跑比赛   上高中时,王阳元是学校1500米和5000米中长跑记录的保持者。   “这完全是练出来的。”他养成了每天早晚锻炼的习惯,不管是跑步还是打篮球、踢足球,风雨无阻。   这个习惯让他欲罢不能。现在就是再忙,每天晚饭前后一定得在院子里走上几圈。   几十年如一日的体育锻炼给了王阳元健康的身体。69岁的他,腰板挺得倍儿直。他也从体育锻炼中悟出了深刻的道理:“广阔的体育场任人驰骋,有失败,有成功。而你不能停下,继续向前,坚持一下,就是胜利。”   “体育和科学研究是相通的,胜利往往产生于坚持一下的努力之中。”王阳元向我阐述他得来的“真理”。   王阳元最喜欢向着终点冲刺的感觉,尽管已经精疲力竭,但有意志支撑着你冲向前方,“那是一种能让你兴奋的感觉。”   “再坚持一下”,成为王阳元在数十年科研和人生道路上克服困难的精神动力,成为引导他从低谷走向成功,从一个成功走向更大成功的坚定信念。   1953年王阳元考入北京大学物理系,毕业后留校任教,他选择了微电子学研究。   上世纪五六十年代,集成电路产业初露端倪,微电子学究竟有着什么样的社会价值,没有多少人看得清。微电子学这个对设备、技术、人员要求十分苛刻的研究领域,在中国的发展前景并不乐观。有些同伴放弃了,但有一批“不识时务者”,在王阳元的带动下,开始向着梦想的终点冲刺。   六年“浴血”奋战   摆在王阳元面前的问题是,选择什么样的课题才能对国家微电子产业发展有更大贡献?   他与同事们花了整整半年时间进行调查研究。在那段时间,在北大昌平分校图书馆一角,灯常常亮到凌晨。他们在那里经过几个月的思考和专业讨论,最后一致认为:硅集成电路存储器由于其稳定、可靠,并可以低成本大批量生产的特性,必将替代磁芯存储器;而半导体存储器中,又以硅栅N沟道技术性能最好,集成密度又高,因此“硅栅N沟道技术”必然成为产业最有影响力的技术,很有可能在未来10年改变我国MOS集成电路技术的落后面貌。   王阳元与同事们选定了这个方向,决心研制硅栅N沟道1024位MOS随机存储器。王阳元担任该课题领导小组组长。   随后的时间里,王阳元却不幸患上了十二指肠溃疡。他仗着年轻,并不在意,常常不舍昼夜,但换来的是一次又一次的大出血。“有一次晕倒在工艺线的走廊上,口吐鲜血,被救护车直接拉到北医三院。”他轻描淡写地对我讲起这些事情。   “战斗”持续了6年。1975年,我国第一块1024位MOS动态随机存储器终于诞生。“这被称为是我国MOS集成电路技术和产业发展过程中具有里程碑意义的事件,它比Intel公司研制的硅栅N沟道MOSDRAM只晚了4年,因此获得了1978年全国科学大会奖。”   兼职副局长   微电子学和集成电路技术在上世纪80年代得到了较大发展。当时集成电路被誉为高新技术的“皇冠”,而集成电路的计算机辅助设计技术与软件工具则是皇冠上的“明珠”。谁拥有这颗“明珠”,就意味着拥有了发展高新技术的主动权。   我国当时由于技术水平和科研条件所限,试图通过技术引进解决这个问题。但是当时的国际环境迫使这个想法成为   泡影。国家决定自己研发这项技术。   1986年,国家电子工业部部长致函北大党委书记王学珍和校长丁石孙,想请王阳元担此重任。王阳元作为访问学者刚从美国回来不久,任北大微电子研究所所长。   王阳元很快出任全国集成电路计算机辅助设计专家委员会主任。电子工业部为了方便王阳元   协调和集中全国优势力量,想同时调王阳元任微电子局副局长。出于各方面考虑,王阳元没有同意。电子工业部最后采取一个折中的办法,让王阳元的人事关系保留在北大,兼任微电子局副局长,工作完成后回北大。   王阳元不辱使命。6年后,我国第一个按软件工程方法开发的集成化超大规模集成电路计算机辅助设计系统   研制成功。使我国继美国、西欧、日本之后进入到能自行开发该系统的先进行列,具有完全知识产权。   从此,我国的微电子研究开始紧盯国际前沿水平。   “他是我国微电子产业的领军人物”   上世纪90年代开始,国际上兴起了投资开发微机电系统潮流。美国的大学、国家实验室和公司共有几十个微机研究小组,日本1991年起启动了为期10年总投资为2500亿日元的研究开发计划。   在王阳元的建议下,1996年国家主管部门在北大设立了国家级微米/纳米加工技术重点实验室。王阳元任主任。   经过7年努力,这个实验室建立了我国第一个与集成电路设计兼容的微机电系统设计平台和加工平台。利用这个平台,复杂的几何图形也可以用计算机辅助设计出来和加工出来。到目前为止,已经自主开发了五套加工工艺,有6项技术创新,已获7项发明专利授权。   而此时,王阳元心中的一个梦想还未实现,那就是在中国建立自己的实践基地。“高新技术的发展必须面向产业,面向世界提升核心竞争力。”王阳元说。   2000年,王阳元作为奠基人之一,与国外同事共同创建了中国最先进的集成电路代工厂———中芯国际集成电路制造公司。2003年,该公司被世界知名的《半导体国际》杂志评为全球“2003年度最佳半导体厂”。该杂志的评语这样写道:“中芯国际把中国与全球权威者的差距由原来的4—5代缩小到1—2代。”   曾有人参观上海中心国际之后,感慨地说:“王阳元可以被认为是我国微电子产业发展的领军人物。”   ■人物档案   王阳元,一九三五年生。微电子学家,是我国硅栅N沟道技术开拓者之一。领导开发了我国第一个大型集成化集成电路计算机辅助设计系统,建立了国家级微机电系统重点实验室,并研究成功五套微机电系统加工工艺和设计技术。作为发起人之一,创建了中芯国际集成电路制造公司,开发成功十二英寸纳米级集成电路。一九九五年当选为中国科学院院士,二○○二年在他的倡议和推动下建立了北京大学微电子研究院和微电子学系,任院长和系主任。   先后取得十八项重大成果,获得十七项国家级及部委奖励,著作六部,发表论文二百三十余篇,拥有七项发明专利。他已培养七十多个硕士、博士和博士后研究人员。

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